[发明专利]光学检测系统有效
申请号: | 201810667121.X | 申请日: | 2018-06-26 |
公开(公告)号: | CN109406542B | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 蔡振扬;陈维懋;谢洹圳;黄全伟 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王涛 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种光学检测系统,包含第一光学检测设备与第二光学检测设备。第一光学检测设备包含中空结构、摄像装置与环型光源。中空结构具有第一端与第二端,第一端具有摄像透光区。中空结构包含管体与腔体。腔体设置在管体的一侧,第一端位于腔体远离管体的一侧,第二端位于管体远离腔体的一侧。摄像装置位于第二端,摄像透光区的中心与摄像装置的镜头中心定义中心轴线,腔体与管体沿中心轴线设置。环型光源围绕中心轴线设置于腔体内,且位于第一端与第二端之间,并向摄像透光区射出第一光线。第二光学检测设备对应中心轴线,设置于待测物的上表面,能让使用者从晶粒的正面及背面查看个别的晶粒是否出现损伤或缺陷,从而判断个别的晶粒是否合格。 | ||
搜索关键词: | 光学 检测 系统 | ||
【主权项】:
1.一种光学检测系统,用以检测一待测物,所述待测物的下表面粘贴于一薄膜上,其特征在于,所述光学检测系统包含:一第一光学检测设备,用以设置于所述薄膜的下表面,包含:一中空结构,具有相对的一第一端以及一第二端,所述第一端具有一摄像透光区,所述中空结构包含一管体以及一腔体,所述腔体设置在所述管体的一侧,所述第一端位于所述腔体远离所述管体的一侧,所述第二端位于所述管体远离所述腔体的一侧;一摄像装置,位于所述第二端,用以通过所述摄像透光区拍摄一图像,所述摄像透光区的中心与所述摄像装置的镜头中心定义一中心轴线,所述腔体与所述管体实质上沿所述中心轴线设置;以及一环型光源,至少部分围绕所述中心轴线设置于所述腔体内,且位于所述中空结构第一端与所述第二端之间,并配置以朝向所述摄像透光区射出至少一第一光线;以及一第二光学检测设备,对应所述中心轴线,用以设置于所述待测物的上表面。
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