[发明专利]一种基于等离子体的物体表征检测方法及装置有效
申请号: | 201810670746.1 | 申请日: | 2018-06-26 |
公开(公告)号: | CN108801195B | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 张静宇;刘思垣;高骥超 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G01B21/20 | 分类号: | G01B21/20 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 李智;曹葆青 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于等离子体的物体表征检测方法及装置,其利用等离子体与待测物体之间相互作用力,来呈现待测物体表面的物理特征,本发明通过用等离子体作为探针,当等离子体与物体表面接近时,会与物体表面发生相互作用,通过测量等离子与物体表面的相互作用产生的影响,可以得出物体表面的轮廓,实现对物体进行表征检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 等离子体 物体 表征 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种基于等离子体的物体表征检测方法,其特征在于,包括:将等离子体作为探针;根据所述探针与待测物体表面发生相互作用的结果,得出所述待测物体表面的轮廓,以实现对所述待测物体进行表征检测。
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