[发明专利]计算纳米线场效应晶体管沟道中等离子体波速度的方法有效
| 申请号： | 201810671172.X | 申请日： | 2018-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN108897945B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 马光金;胡国庆;刘京京;李春来;潘俊;马小娟;何进 | 申请（专利权）人： | 深港产学研基地;北京大学深圳研究院 |
| 主分类号： | G06F30/30 | 分类号： | G06F30/30;G06F111/10 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 满群 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种计算纳米线场效应晶体管沟道中等离子体波速度的方法，该方法包括以下步骤：利用纳米线半径，纳米线长度，氧化物厚度，材料参数和沟道掺杂浓度，计算纳米线场效应晶体管的亚阈斜率因子α和阈值电压V |
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| 搜索关键词： | 计算 纳米 场效应 晶体管 沟道 等离子体 波速 方法 | ||
【主权项】：
1.一种计算纳米线场效应晶体管沟道中等离子体波速度的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：101、利用纳米线半径，纳米线长度，氧化物厚度，材料参数和沟道掺杂浓度，计算纳米线场效应晶体管的亚阈斜率因子α和阈值电压Vth；102、计算出纳米线场效应晶体管沟道中单位面积反型电荷Q；103、通过单位面积反型电荷Q，求解出沟道中等离子体波平均速度。
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