[发明专利]一种横向搭桥拼接生长大面积单晶金刚石的方法在审

专利信息
申请号: 201810671214.X 申请日: 2018-06-26
公开(公告)号: CN108677246A 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 王宏兴;王艳丰;常晓慧;邵国庆;魏孔庭;张景文;卜忍安;侯洵 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: C30B29/04 分类号: C30B29/04;C30B25/20
代理公司: 陕西增瑞律师事务所 61219 代理人: 刘春
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种横向搭桥拼接生长大面积单晶金刚石的方法,将单晶金刚石衬底I和单晶金刚石衬底II进行拼接,在接缝处生长出桥状连接部分,并继续外延生长得到完整的大面积单晶金刚石层;其中,单晶金刚石衬底I在拼接处的厚度小于单晶金刚石衬底II在拼接处的厚度。解决了金刚石拼接生长过程中拼接缝明显,金刚石容易发生相对移动的问题,从而降低拼接处出现裂纹甚至裂开的风险。
搜索关键词: 单晶金刚石 金刚石 衬底 拼接 大面积单晶 拼接处 生长 搭桥 金刚石层 生长过程 外延生长 相对移动 接缝处 拼接缝 裂开 桥状
【主权项】:
1.一种横向搭桥拼接生长大面积单晶金刚石的方法,其特征在于,将单晶金刚石衬底I(1)和单晶金刚石衬底II(2)进行拼接,在接缝处生长出桥状连接部分(4),并继续外延生长得到完整的大面积单晶金刚石层(3);其中,单晶金刚石衬底I(1)在拼接处的厚度小于单晶金刚石衬底II(2)在拼接处的厚度。
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