[发明专利]一种横向搭桥拼接生长大面积单晶金刚石的方法在审
申请号: | 201810671214.X | 申请日: | 2018-06-26 |
公开(公告)号: | CN108677246A | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 王宏兴;王艳丰;常晓慧;邵国庆;魏孔庭;张景文;卜忍安;侯洵 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | C30B29/04 | 分类号: | C30B29/04;C30B25/20 |
代理公司: | 陕西增瑞律师事务所 61219 | 代理人: | 刘春 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种横向搭桥拼接生长大面积单晶金刚石的方法,将单晶金刚石衬底I和单晶金刚石衬底II进行拼接,在接缝处生长出桥状连接部分,并继续外延生长得到完整的大面积单晶金刚石层;其中,单晶金刚石衬底I在拼接处的厚度小于单晶金刚石衬底II在拼接处的厚度。解决了金刚石拼接生长过程中拼接缝明显,金刚石容易发生相对移动的问题,从而降低拼接处出现裂纹甚至裂开的风险。 | ||
搜索关键词: | 单晶金刚石 金刚石 衬底 拼接 大面积单晶 拼接处 生长 搭桥 金刚石层 生长过程 外延生长 相对移动 接缝处 拼接缝 裂开 桥状 | ||
【主权项】:
1.一种横向搭桥拼接生长大面积单晶金刚石的方法,其特征在于,将单晶金刚石衬底I(1)和单晶金刚石衬底II(2)进行拼接,在接缝处生长出桥状连接部分(4),并继续外延生长得到完整的大面积单晶金刚石层(3);其中,单晶金刚石衬底I(1)在拼接处的厚度小于单晶金刚石衬底II(2)在拼接处的厚度。
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