[发明专利]一种用于低浓度氮氧化物检测的气敏传感薄膜及制备方法在审
| 申请号： | 201810673933.5 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108802118A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 陈庆;司文彬 | 申请（专利权）人： | 成都新柯力化工科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610091 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及高性能气敏材料领域，具体涉及用于检测低浓度氮氧化物的气敏传感薄膜及其制备方法。本发明的一种用于低浓度氮氧化物检测的气敏传感薄膜通过如下方法制备得到：将清洗并烘干后的多孔氧化铝基底摩擦粘附硫酸钙晶须，然后置于超高真空对靶磁控溅射设备的真空室中，在多孔氧化铝基底之上溅射沉积多孔氧化钨薄膜；将得到的多孔氧化钨薄膜浸入酞菁铜和N，N‑二甲基甲酰胺、聚氨酯的分散液中，真空干燥后即得以多孔氧化铝为基底的酞菁铜/多孔氧化钨复合薄膜。本发明制备得到的酞菁铜/多孔氧化钨复合气敏传感薄膜具有大的活性比表面积，检测低浓度氮氧化物气体时在选择性、灵敏度和检测质量等方面均有大幅的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 低浓度氮氧化物 传感薄膜 制备 多孔氧化铝 酞菁铜 检测 多孔氧化钨薄膜 多孔氧化钨 基底 磁控溅射设备 二甲基甲酰胺 硫酸钙晶须 浸入 超高真空 分散液中 复合薄膜 基底摩擦 溅射沉积 气敏材料 灵敏度 活性比 聚氨酯 真空室 烘干 对靶 粘附 清洗 复合 | ||
【主权项】：
1.一种用于低浓度氮氧化物检测的气敏传感薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：（1）将多孔氧化铝基体分别放入无水乙醇和去离子水中超声清洗10～30分钟，再送入真空炉中烘干，烘干温度100℃，烘干时间30min；(2)将步骤（1）获得的多孔氧化铝基底在半水硫酸钙晶须中摩擦，使晶须粘附于多孔氧化铝，吹去多余粘附晶须，放置于对靶溅射设备的真空室中，采用对靶磁控溅射的方法，采用金属钨作为靶材，以氩气作为工作气体，氧气作为反应气体，在多孔氧化铝基底表面溅射沉积多孔氧化钨薄膜；（3）将步骤（2）得到的多孔氧化钨薄膜浸入酞菁铜和N ,N‑二甲基甲酰胺、聚氨酯的分散液中，使分散液浸满多孔，取出，真空干燥后即得以多孔氧化铝为基底的酞菁铜/多孔氧化钨复合薄膜，即气敏传感薄膜。
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