[发明专利]一种基于计算全息的光学元件顶点半径测量的方法和装置在审
| 申请号： | 201810676220.4 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108895972A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 吴高峰;陈强;宋伟红;侯溪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/08 | 分类号： | G01B11/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于计算全息的光学元件顶点半径测量的方法和装置，属于光电技术检测领域。本发明通过一片计算全息同时产生共焦波前和猫眼波前两个共扼波面，同时获取猫眼位置和共焦位置干涉图并测量其面形参数，并根据测量结果求解光学元件半径。本发明采用干涉测量技术，猫眼和共焦位置定位精度高，半径测量精度高。相比于常用的激光干涉测量，本发明由于不需要猫眼位置和共焦位置之间的移动，消除了由于光轴和运动轴之间存在夹角而引入的误差，提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 半径测量 共焦位置 光学元件 计算全息 方法和装置 猫眼 猫眼位置 测量 干涉测量技术 激光干涉测量 定位精度高 光电技术 检测领域 面形参数 干涉图 运动轴 求解 波面 共扼 共焦 光轴 引入 移动 | ||
【主权项】：
1.一种基于计算全息的光学元件顶点半径测量的装置，其特征在于：包括激光干涉仪(1)、计算全息片(2)、被测件(3)、标准镜头(6)；计算全息片(2)分为三个部分：包括全息对准环(7)、猫眼对准环(8)、主测试全息(9)；激光干涉仪(1)发出平行光，然后到达标准镜头(6)，标准镜头(6)将平行光汇聚后一部分在参考面(4)反射，一部分到达计算全息片(2)，计算全息片不同的三个区域产生不同的反射衍射和折射衍射后形成不同的光路：全息对准测量光路、猫眼对准测量光路、主全息测试光路；全息对准测量光路用于精确对准计算全息在光路之中的位置；猫眼对准测量光路用于精确定位被测件在测试光路中的设计位置；主全息测试光路用于测量光学表面面形，并将此测量数据用于计算得到光学元件顶点半径。
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