[发明专利]一种新型太赫兹波调制器

摘要

本发明公开了一种新型太赫兹波调制器，由底层衬底层，中间的调制层，及顶层具有周期性金属谐振单元阵列结构的滤波层组成。所述的衬底层为对太赫兹波透明的衬底材料，调制层为具有良好相变特性的薄膜，厚度为20‑160nm。滤波层是具有“CI”型结构的金属谐振单元阵列，厚度为50‑200nm。每一个周期单元由“I”矩形金属条和“C”形开口圆环构成，矩形金属条长70‑140μm，宽10‑20μm，矩形中心离圆心50‑75μm。开口圆环外径与矩形金属条长度相同，开口圆环的环宽与矩形金属条宽度相同，圆环上的开口宽1‑7μm，相邻金属谐振单元间距为130‑180μm。本调制器既可滤波又能以多种触发方式动态调制THz电磁波，且调制速度快，触发方式易操作，器件加工简便，结构容差率较高，便于规模化生产。

主权项

1.一种新型太赫兹波调制器，其特征在于由衬底层(1)、调制层(2)、和具有周期性金属谐振单元阵列结构的滤波层(3)组成。所述的衬底层(1)在最底层，调制层(2)在中间，滤波层(3)在最顶层。衬底层(1)为单晶本征硅，调制层(2)厚度为20‑160nm的二氧化钒材料，滤波层(3)的金属谐振单元材料为金，具有“Cl”形结构，包括“I”矩形金属条(4)和“C”形开口圆环(5)，开口圆环(5)上开口(6)开口方向远离“I”矩形金属条(4)一端。其金属谐振层厚度为50‑200nm，矩形金属条(4)长70‑140μm，宽10‑20μm，矩形中心离圆心50‑75μm。开口圆环(5)外径与矩形金属条(4)长相同，开口圆环(5)的环宽与矩形金属条(4)宽度相同，圆环上的开口(6)宽1‑7μm。相邻金属谐振单元间距为130‑180μm。