[发明专利]脉冲激光沉积设备的镀膜控制方法、系统及脉冲激光沉积设备在审
| 申请号： | 201810677440.9 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108950485A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张晓军;罗敏;胡凯;陈志强;方安安;姜鹭;潘恒;王岩;王峻岭 | 申请（专利权）人： | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市华优知识产权代理事务所(普通合伙) 44319 | 代理人： | 余薇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜材料制造技术领域，公开了一种脉冲激光沉积设备的镀膜控制方法、系统及脉冲激光沉积设备。所述脉冲激光沉积设备的镀膜控制方法，包括：在脉冲激光束进行镀膜时，实时采集真空腔内的辉羽图像；分析实时采集的辉羽图像中的聚焦光斑亮度数据、辉羽形状数据和激光光斑在靶材上的位置数据；将分析出的聚焦光斑亮度数据、辉羽形状数据和激光光斑在靶材上的位置数据与对应预设的标准数据进行匹配；以及根据匹配结果判断脉冲激光沉积设备的镀膜过程是否正常。本发明准确、方便快捷地实现了脉冲激光沉积设备镀膜过程的实时监控控制，提升了脉冲激光沉积设备镀膜的工作效率和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲激光沉积设备 镀膜控制 镀膜过程 激光光斑 聚焦光斑 亮度数据 实时采集 位置数据 形状数据 靶材 镀膜 图像 脉冲激光束 薄膜材料 标准数据 工作效率 匹配结果 实时监控 真空腔 预设 匹配 分析 制造 | ||
【主权项】：
1.一种脉冲激光沉积设备的镀膜控制方法，其特征在于，包括：在脉冲激光束进行镀膜时，实时采集真空腔内的辉羽图像；分析实时采集的辉羽图像中的聚焦光斑亮度数据、辉羽形状数据和激光光斑在靶材上的位置数据；将分析出的聚焦光斑亮度数据、辉羽形状数据和激光光斑在靶材上的位置数据与对应预设的标准数据进行匹配；以及根据匹配结果判断脉冲激光沉积设备的镀膜过程是否正常。
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