[发明专利]静电电容型压力传感器有效
| 申请号： | 201810678519.3 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN109141739B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 关根正志;石原卓也;添田将;枥木伟伸 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的静电电容型压力传感器减少CIP时的热冲击引起的传感器特性的恶化，并且缩短在CIP结束后恢复到规定的自加热温度的时间。在引入来自压力导入管(3)的清洗液进行壳体(2)内清洗时(CIP时)，抑制供给至加热器(5)的供给电流(I)，以使传感器外壳(4)内的温度(例如80℃)低于规定的自加热温度(例如125℃)。例如，在CIP时，将去往加热器控制部(11)的设定温度(tHsp)从通常时设定温度(tHsp 1)(125℃)切换到清洗时设定温度tHsp2(80℃)。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 电容 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种静电电容型压力传感器，其特征在于，包括：传感器芯片，其具有膜片和电极，所述膜片承受被测定介质的压力而弯曲，所述电极构成为将该膜片的位移转换为静电电容的变化；壳体，其收纳有所述传感器芯片；压力导入管，其连接于所述壳体并将所述被测定介质的压力引导到所述传感器芯片的膜片上；传感器外壳，其覆盖所述壳体；加热器，其被设置为包围所述传感器外壳的外周面；温度传感器，其测定所述传感器外壳内的温度；加热器控制部，其控制供给至所述加热器的供给电流，从而使由所述温度传感器测定出的所述传感器外壳内的温度变为规定的自加热温度；以及供给电流抑制部，其构成为在引入来自所述压力导入管的清洗液进行所述壳体内清洗时，抑制供给至所述加热器的供给电流以使所述传感器外壳内的温度低于所述规定的自加热温度。
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