[发明专利]一种旋转紫外曝光机有效
| 申请号： | 201810680434.9 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108490745B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 覃佐波;刘莎莉 | 申请（专利权）人： | 合肥泰沃达智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种旋转紫外曝光机，包括转运台、涂布机、曝光机；所述涂布机位于曝光机一侧，转运台依次穿过涂布机、曝光机，曝光机顶部设置有紫外光源发生器；曝光机中间设置有曝光空腔，曝光空腔内设置有旋转曝光器，旋转曝光器通过光源入射器连接到紫外光源发生器；所述转运台下表面安装在第一底座横梁、第二底座横梁，第一底座横梁设置在涂布机下方的涂布防震底座上；第二底座横梁设置在曝光机下方的曝光防震底座上。本发明具有不需要曝光用掩模板、加工速度快、加工效率高、加工尺寸大、加工兼容性强的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 紫外 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种旋转紫外曝光机，包括转运台(1)、涂布机(2)、曝光机(3)，其特征在于：所述涂布机(2)位于曝光机(3)一侧，转运台(1)依次穿过涂布机(2)、曝光机(3)，曝光机(3)顶部设置有紫外光源发生器(33)；曝光机(3)中间设置有曝光空腔(34)，曝光空腔(34)内设置有旋转曝光器(35)，旋转曝光器(35)通过光源入射器(353)连接到紫外光源发生器(33)；所述转运台(1)下表面安装在第一底座横梁(22)、第二底座横梁(32)，第一底座横梁(22)设置在涂布机(2)下方的涂布防震底座(21)上；第二底座横梁(32)设置在曝光机(3)下方的曝光防震底座(31)上。
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