[发明专利]一种整体十字型硅芯切割方法在审
申请号: | 201810681601.1 | 申请日: | 2018-06-27 |
公开(公告)号: | CN108789887A | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 薛建云 | 申请(专利权)人: | 江阴兰雷新能源科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D5/02 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种整体十字型硅芯切割方法,用于加工多晶硅原料生产过程中的CVD还原炉使用的整体十字型硅芯,其包括以下步骤:1)将单晶硅或多晶硅硅棒切割成横截面为正方形或长方形的若干根方形硅棒;2)将方形硅棒固定在切割设备上,通过切割设备沿方形硅棒的长度方向进行切割,形成互相分离的一个位于原方形硅棒正中间的横截面为“十”字型的硅芯和位于原方形硅棒四角的四个小方形硅棒。上述整体十字型硅芯切割方法便于成型出用于多晶硅CVD多晶硅还原炉的整体十字型硅芯。不仅加工效率高,节约能耗,成本低;而且硅棒利用率高,除了切割刀缝损失,无材料浪费。 | ||
搜索关键词: | 方形硅棒 十字型 硅芯切割 硅芯 切割设备 硅棒 切割 多晶硅还原炉 单晶硅 多晶硅硅棒 多晶硅原料 互相分离 加工效率 生产过程 多晶硅 还原炉 切割刀 小方形 字型 成型 能耗 节约 加工 | ||
【主权项】:
1.一种整体十字型硅芯切割方法,其特征在于,其包括以下步骤:1)将单晶硅或多晶硅硅棒切割成横截面为正方形或长方形的若干根方形硅棒;2)将方形硅棒固定在切割设备上,通过切割设备沿方形硅棒的长度方向进行切割,形成互相分离的一个位于原方形硅棒正中间的横截面为“十”字型的硅芯和位于原方形硅棒四角的四个小方形硅棒。
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