[发明专利]一种斜入射式原子束显微装置

摘要

本发明涉及对材料的显微技术领域，一种斜入射式原子束显微装置，包括储气罐、气管、由腔体I和腔体II连接成的真空腔体、喷射头、分流器、菲涅尔波带片I、小孔、菲涅尔波带片II、探测器、样品、样品台、位移台、计算机、抽气口I、真空泵组I、抽气口II，真空泵组II，小孔的中心位于喷射头出口中心与分流器入口中心的连线的延长线上，小孔位于菲涅尔波带片I和菲涅尔波带片II之间且孔径为10微米，原子束流依次通过分流器、菲涅尔波带片I、小孔、菲涅尔波带片II后射到样品表面，样品固定于样品台，样品台固定于位移台，样品表面与z轴呈45度角，探测器位于样品表面一侧、且原子入口与样品表面呈45度角，探测器探测被样品表面反射的原子。

主权项

1.一种斜入射式原子束显微装置，主要包括储气罐(1)、气管(2)、由腔体I(3‑1)和腔体II(3‑2)连接成的真空腔体(3)、喷射头(4)、分流器(5)、菲涅尔波带片I(6)、小孔(7)、菲涅尔波带片II(8)、探测器(9)、样品(10)、样品台(11)、位移台(12)、计算机(13)、抽气口I(14)、真空泵组I(15)、抽气口II(16)，真空泵组II(17)，xyz为三维坐标系，定义喷射头(4)出口中心与分流器(5)入口中心的连线为z轴方向，所述腔体I(3‑1)和腔体II(3‑2)通过分流器(5)连接，腔体II(3‑2)通过抽气口I(14)连接真空泵组I(15)，腔体I(3‑1)通过抽气口II(16)连接真空泵组II(17)；喷射头(4)位于腔体I(3‑1)内，喷射头(4)通过气管(2)与真空腔体(3)外的储气罐(1)连接，喷射头(4)出口与分流器(5)的入口相对，所述菲涅尔波带片I(6)、小孔(7)、菲涅尔波带片II(8)、探测器(9)、样品(10)、样品台(11)、位移台(12)均位于腔体II(3‑2)内，菲涅尔波带片I(6)位于分流器(5)后方，位移台(12)能够三维移动，探测器(9)、位移台(12)分别电缆连接计算机(13)，当气体原子从储气罐(1)通过气管(2)传输至喷射头(4)并以自由射流形式射入腔体I(3‑1)，原子束流的一部分进入分流器(5)入口并通过分流器(5)进入腔体II(3‑2)，喷射头(4)内径为10微米，分流器(5)内径为150微米，喷射头(4)和分流器(5)距离为20毫米，其特征是：所述小孔(7)的中心位于喷射头(4)出口中心与分流器(5)入口中心的连线的延长线上，所述小孔(7)位于菲涅尔波带片I(6)和菲涅尔波带片II(8)之间，小孔(7)孔径为10微米，原子束流能够依次通过分流器(5)、菲涅尔波带片I(6)、小孔(7)、菲涅尔波带片II(8)后射到样品(10)表面，样品(10)固定于样品台(11)上且位于菲涅尔波带片II(8)后方，样品台(11)固定于位移台(12)，样品(10)表面与z轴方向呈45度角，探测器(9)位于样品(10)表面的一侧，探测器(9)的原子入口与样品(10)表面呈45度角，探测器(9)能够探测被样品(10)表面反射的原子。