[发明专利]一种湿式设备及其传感装置在审
| 申请号： | 201810685439.0 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN108917598A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 施杰 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01V8/20 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 孙威;潘中毅 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于湿式设备的传感装置，包括：壳体；分别装设在壳体中的发射器和接收器；装设在壳体中分别与发射器和接收器相连的，用以调节发射器发出光线、接收器接收光线的角度或发射器和接收器相对位置的微调组件，其中，通过微调组件改变发射器发出光线、接收器接收光线的角度或发射器和接收器相对位置，使发射器发射出的光线经反射后由接收器接收。本发明还公开了一种湿式设备。实施本发明的湿式设备及其传感装置，可不与基板直接接触，能够在湿段制程环境下稳定运行；提高搬运装置的感应精度和使用寿命，降低感应误检率。 | ||
| 搜索关键词： | 发射器和接收器 湿式设备 接收器 传感装置 壳体 发射器 微调组件 发射器发射 搬运装置 使用寿命 稳定运行 误检率 基板 制程 反射 | ||
【主权项】：
1.一种用于湿式设备的传感装置，其特征在于，包括：壳体；分别装设在所述壳体中的发射器和接收器；装设在所述壳体中分别与所述发射器和所述接收器相连的，用以调节所述发射器发出光线、所述接收器接收光线的角度或所述发射器和所述接收器相对位置的微调组件，其中，通过所述微调组件改变所述发射器发出光线、所述接收器接收光线的角度或所述发射器和所述接收器相对位置，使所述发射器发射出的光线经反射后由所述接收器接收。
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