[发明专利]一种应用于超精密龙门式检测平台的气浮导轨在审

专利信息
申请号: 201810687534.4 申请日: 2018-06-28
公开(公告)号: CN108591261A 公开(公告)日: 2018-09-28
发明(设计)人: 赵休金;刘震 申请(专利权)人: 深圳市金园智能科技有限公司
主分类号: F16C32/06 分类号: F16C32/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518101 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种应用于超精密龙门式检测平台的气浮导轨,包括:龙门架,直线电机安装在龙门架设置的“U”形安装槽内,套接在龙门架上的气浮滑块,气浮滑块包括侧向真空预压气浮支承组件和顶部气浮支承件,顶部气浮支承件通过螺栓固定在侧向真空预压气浮支承组件的顶部且顶部气浮支承件与直线电机的动子固定连接。本应用于超精密龙门式检测平台的气浮导轨可以实现气浮滑块与龙门架的无摩擦接触,并且通过直线电机直接驱动,可以确保气浮滑块的实时制动和停止,提高气浮滑块移动的精确性。
搜索关键词: 气浮滑块 龙门架 气浮导轨 直线电机 超精密 龙门式 支承件 气浮 侧向 支承组件 压气 检测 应用 无摩擦接触 螺栓固定 直接驱动 安装槽 动子 套接 制动 移动
【主权项】:
1.一种应用于超精密龙门式检测平台的气浮导轨,其特征在于包括:龙门架,所述龙门架顶部设置有“U”形安装槽,直线电机安装在所述“U”形安装槽内,所述直线电机包括直线定子和动子,直线定子固定在安装槽底部,动子安装在直线定子上;套接在龙门架上的气浮滑块,所述气浮滑块包括侧向真空预压气浮支承组件和顶部气浮支承件,所述侧向真空预压气浮支承组件由三个独立的方形真空预压气浮支承件拼接而成,三个独立的方形真空预压气浮支承件分别对应龙门架的前侧面、底面和后侧面,所述方形真空预压气浮支承件包括轴套壳和第一气浮微孔盖板,所述轴套壳内部设置有第一真空吸附腔,第一真空吸附腔的中心开设有第一抽气孔,轴套壳的侧壁上设置有第一泄气孔,所述第一抽气孔与第一泄气孔之间通过管道连接,第一真空吸附腔的周侧设置有多个呈“回”字形分布且向外渐扩的第一气膜腔,轴套壳的侧壁上设置有第一进气孔,所述第一进气孔与每个第一气膜腔连通,第一气浮微孔盖板盖覆在第一气膜腔上,第一气浮微孔盖板与第一真空吸附腔和轴套壳接触处均以密封胶密封连接;顶部气浮支承件通过螺栓固定在侧向真空预压气浮支承组件的顶部且顶部气浮支承件与直线电机的动子固定连接,所述顶部气浮支承件包括壳体,壳体内侧盖覆有盖板,壳体上设置有两个并行间隔分布的气浮腔体,气浮腔体内开设有第二气膜腔,第二气膜腔表面盖覆有第二气浮微孔盖板,壳体端边上还设置有与气浮腔体对应的第二进气孔,所述第二进气孔与第二气膜腔通过进气管连通,每个气浮腔体的左右两端均设置有一个第二真空吸附腔,每个第二真空吸附腔的中心均设置有第二抽气孔,壳体端边上对应设置有第二泄气孔,第二抽气孔与第二泄气孔之间通过抽真空管连接。
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