[发明专利]一种加载铁电薄膜的SSPP传输移相器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810688147.2 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN108879034A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王军;娄菁;马华;屈绍波;王甲富;董博文;冯明德 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军空军工程大学 |
| 主分类号： | H01P1/18 | 分类号： | H01P1/18;H01P11/00 |
| 代理公司： | 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 | 代理人： | 俞晓明 |
| 地址： | 710051 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加载铁电薄膜的SSPP传输移相器及其制备方法，该移相器包括：低介衬底、铁电薄膜、金属层；金属层包括电极、阻抗匹配区及SSPP传输结构，电极设在SSPP传输结构两侧，阻抗匹配区设在SSPP传输结构的两端；阻抗匹配区包括共面波导结构及过渡结构。该方法包括：在衬底上依次沉积粘附层、铁电薄膜、金属粘附层及金属层；在金属层上进行电极、共面波导结构、过渡结构及SSPP传输结构刻蚀。因此，本发明实施例提供的加载铁电薄膜的SSPP传输移相器及制备方法，通过在具有介电非线性的铁电薄膜层上成型SSPP传输结构，使得移相器的传输效率高，且能够将场很好地束缚在铁电薄膜中。利用铁电薄膜的高调谐率，能够实现很好的可调谐移相功能。 | ||
| 搜索关键词： | 铁电薄膜 传输结构 移相器 金属层 阻抗匹配 电极 加载 制备 共面波导结构 过渡结构 衬底 传输 调谐 金属粘附层 铁电薄膜层 传输效率 移相功能 可调谐 粘附层 沉积 低介 介电 刻蚀 成型 束缚 | ||
【主权项】：
1.一种加载铁电薄膜的SSPP传输移相器，其特征在于，包括：低介衬底(01)、铁电薄膜(02)、金属层(03)，所述铁电薄膜(02)及所述金属层(03)依次设置在所述低介衬底(01)上；所述金属层(03)包括位于同一水平面的电极(31)、阻抗匹配区(32)及SSPP传输结构(33)，所述电极(31)设置在所述SSPP传输结构(33)两侧，所述阻抗匹配区(32)设置在所述SSPP传输结构(33)的两端；所述阻抗匹配区(32)包括共面波导结构(32a)及过渡结构(32b)，且所述过渡结构(32b)靠近所述SSPP传输结构(33)，所述共面波导结构(32a)远离所述SSPP传输结构；所述阻抗匹配区(32)及所述SSPP传输结构(33)为齿状结构，且所述阻抗匹配区(32)的金属齿与所述SSPP传输结构(33)的金属齿垂直，所述过渡结构(32b)的金属齿的宽度沿远离所述共面波导结构(32a)的方向逐渐减小。
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