[发明专利]一种基于长线形共平面电容器的沉积雾滴体积测量方法有效

专利信息
申请号: 201810689052.2 申请日: 2018-06-28
公开(公告)号: CN109164022B 公开(公告)日: 2020-12-11
发明(设计)人: 蔡坤;兰玉彬;李继宇;胡洁;彭孝东 申请(专利权)人: 华南农业大学
主分类号: G01N15/04 分类号: G01N15/04;G01B7/00
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 林丽明
地址: 510630 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种基于长线形共平面电容器的沉积雾滴体积测量方法,包括以下步骤:将雾滴表面的束缚电荷等效为镜像线电荷,得到平面上任意点的电位函数;求解雾滴剖面模型电极间电容量,得到电极间电容量的计算公式;求解雾滴剖面模型的电极间电容增量,得到雾滴对电极间电容的总增量;建立雾滴体积与电极间电容增量的数学关系,通过测量电极间电容增量得到雾滴体积。本发明提供一种基于长线形共平面电容器的沉积雾滴体积测量方法,充分考虑沉积雾滴在物体表面沉积的表面张力特性问题和雾滴表面束缚电荷对长线形电容器电场的影响,解决了现有电学测量雾滴参数方法忽略沉积雾滴在物体表面沉积的表面张力特性问题,导致测量结果不准确的问题。
搜索关键词: 一种 基于 线形 平面 电容器 沉积 雾滴 体积 测量方法
【主权项】:
1.一种基于长线形共平面电容器的沉积雾滴体积测量方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:利用电介质镜像法将雾滴表面的束缚电荷等效为镜像线电荷,得到平面上任意点的电位函数;S2:根据得到的电位函数,求解雾滴剖面模型电极间电容量,得到雾滴剖面模型电极间电容量的计算公式;S3:根据雾滴剖面模型电极间电容量的计算公式,求解雾滴剖面模型的电极间电容增量,得到雾滴对电极间电容的总增量;S4:建立雾滴体积与电极间电容增量的数学关系,通过测量电极间电容增量得到雾滴体积。
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