[发明专利]硅片分片机

摘要

本发明涉及一种硅片分片机，包括工作平台、夹持机构、侧端吸盘、顶端吸盘，所述工作平台的工作平面上设有用于承载硅片花篮的硅片花篮承载区，所述夹持机构位于所述工作平台的工作平面上方，所述侧端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的一侧，所述顶端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的上方，所述侧端吸盘和顶端吸盘在工作时分别从硅片花篮的侧端和顶端插入硅片花篮中。上述硅片分片机，无需将硅片花篮中的硅片预先取出，在硅片花篮中即可将吸合在一起的硅片分开，同时通过侧端吸盘和顶端吸盘的协同吸附作用提高了分片效率，降低了在分片过程中硅片出现碎片和隐裂的几率，实现了硅片分片的全程自动化操作，无需人工处理。

主权项

1.一种硅片分片机，其特征在于，包括工作平台、夹持机构、侧端吸盘、顶端吸盘，所述工作平台的工作平面上设有用于承载硅片花篮的硅片花篮承载区，所述夹持机构位于所述工作平台的工作平面上方，用于将硅片花篮通过夹持作用固定在所述工作平台的工作平面上，所述侧端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的一侧，所述顶端吸盘位于所述工作平台上的硅片花篮承载区的上方，所述侧端吸盘和顶端吸盘在工作时分别从硅片花篮的侧端和顶端插入硅片花篮中。