[发明专利]一种硅晶棒防崩边切割装置

摘要

本发明涉及了一种硅晶棒防崩边切割装置，包括线锯切割机构、提升机构、夹爪机构和第一滑动机构；提升机构用于带动线锯切割机构切割硅晶棒；夹爪机构包括对称设置于让位凹槽的两侧的夹爪单元，夹爪单元包括第一直线往复装置、定位夹爪、平衡夹爪和位移夹爪，平衡夹爪与位移夹爪均安装于定位夹爪上，平衡夹爪与位移夹爪具有朝向待切割硅晶棒的抵靠面，直线往复装置的伸缩杆一端与定位夹爪固定；夹爪机构可沿第一滑动机构上下滑动。本装置将线锯切割机构和夹爪机构结合设计，充分利用线锯切割机构的位移，夹爪机构夹持住硅晶棒切缝两侧的棒体能够防止硅晶棒将要切断时发生断裂，避免切割端面出现“崩边”的情况。

主权项

1.一种硅晶棒防崩边切割装置，其特征在于，所述切割装置包括线锯切割机构、提升机构、夹爪机构和第一滑动机构；所述线锯切割机构包括切割面板、导轮组件和金刚石线锯，所述导轮组件安装于切割面板上，所述金刚石线锯布设于导轮组件的线槽中，金刚石线锯可在导轮组件的带动下运动，所述切割面板上设置有让位凹槽，所述让位凹槽位于待切割硅晶棒的正上方；所述提升机构设置于线锯切割机构的上方，提升机构带动线锯切割机构切割硅晶棒；所述夹爪机构包括对称设置于让位凹槽的两侧的夹爪单元，所述夹爪单元包括第一直线往复装置、定位夹爪、平衡夹爪和位移夹爪，所述平衡夹爪与位移夹爪均安装于定位夹爪上，平衡夹爪与位移夹爪具有朝向待切割硅晶棒的抵靠面，平衡夹爪与位移夹爪分别位于让位凹槽下方金刚石线锯的两侧，所述直线往复装置的伸缩杆一端与定位夹爪固定；所述第一滑动机构包括对称设置于让位凹槽的两侧的滑动单元，所述滑动单元包括竖向滑轨和移动滑块，所述竖向滑轨固定在让位凹槽两侧的切割面板上，所述移动滑块可沿竖向滑轨上下滑动，所述直线往复装置固定在移动滑块上。