[发明专利]一种基于多波长迭代算法的透射性元件缺陷检测装置及方法在审
| 申请号： | 201810694749.9 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN108961234A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 赵彦;吴永前;刘锋伟;肖向海 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于多波长迭代算法的透射性元件缺陷检测装置及方法。本发明通过在多波长梯度加速迭代相位恢复算法实验装置中，采用可调波段范围达到150nm以上且性能良好的固体激光器形成七种不同波长入射光，通过探测器采集缺陷透射后的多幅散射光强图；采用多波长梯度加速相位恢复迭代算法相位恢复算法对采集的光强图进行入射光输入面波前相位面信息进行恢复；得到入射光输入面波前相位面信息进而推算得到缺陷的宽度、高度信息。本发明中算法恢复速度快，检测精度高，固定位置采集衍射图，避免了移动光路，适用于透射性元件的缺陷检测。 | ||
| 搜索关键词： | 多波长 透射性元件 迭代算法 入射光 缺陷检测装置 相位恢复算法 波前相位 面信息 输入面 采集 恢复 固体激光器 高度信息 加速相位 缺陷检测 散射光强 实验装置 衍射图 移动光 波长 波段 透射 探测器 迭代 光强 可调 算法 推算 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基于多波长迭代算法的透射性元件缺陷检测装置，其特征在于，包括：可调谐固体激光器(1)、激光准直扩束镜(2)、光阑(3)、待测透射元件(4)、探测器(5)；可调谐固体激光器(1)、激光准直扩束镜(2)、光阑(3)、待测透射元件(4)、探测器(5)相对于基底同轴等高，即相对于光学平台或仪器底座同轴等高；可调谐固体激光器(1)发出的固定波长光束，经激光准直扩束镜(2)扩展为宽光束的准直平行光，经光阑(3)限制后，投射到待测透射元件(4)的表面上，经透射元件表面缺陷衍射后传输一段距离照射到探测器(5)上，采集到衍射传输的光强图像。
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