[发明专利]用于提供位移信号的抗污染和缺陷光学编码器配置

摘要

一种光学编码器配置包括照明部分、标尺和光电检测器配置。照明部分将源光传输至将周期性标尺光图案输出至光电检测器配置的标尺。光电检测器配置包括沿着横向于测量轴的方向以空间相位序列布置的N个空间相位检测器的集合，并且空间相位序列包括在沿着横向于测量轴的方向的序列的开始和结束处的两个外部空间相位检测器。至少大部分的各个空间相位检测器沿着测量轴方向相对伸长并且沿着垂直于测量轴方向的方向相对较窄，并且包括对应于该空间相位检测器相对于周期性标尺光图案的各个空间相位被定位的标尺光接收器区域，并且被配置为提供各个空间相位检测器信号。

主权项

1.一种用于提供位移信号的抗污染和缺陷光学编码器配置，包括：照明部分，沿着源光路径将源光传输到标尺；标尺，沿着测量轴方向延伸，所述标尺包括周期性图案，所述周期性图案包括条，所述条沿着测量轴方向是窄的并且沿着与测量轴方向垂直的Y方向伸长，并且沿测量轴方向周期性排列，所述标尺沿源光路径输入源光并沿标尺光路径输出标尺光；以及光电检测器配置，沿着标尺光路径从标尺接收周期性标尺光图案，所述周期性标尺光图案沿着所述测量轴方向对应于标尺和光电检测器配置之间的相对位移，移位经过光电检测器配置，其中：所述光电检测器配置包括沿着横向于测量轴的方向以空间相位序列布置的N个空间相位检测器的集合，其中N是至少为6的整数，并且空间相位序列包括在沿着横向于测量轴的方向的序列的开始处和结束处的两个外部空间相位检测器以及位于所述两个外部空间相位检测器之间的空间相位检测器的内部组；至少大部分的各个空间相位检测器沿着测量轴方向相对伸长并且沿着垂直于测量轴方向的方向相对较窄，并且包括沿着测量轴方向在空间上周期性的并且对应于该空间相位检测器相对于周期性标尺光图案的各个空间相位被定位的标尺光接收器区域，并且被配置为提供各个空间相位检测器信号；和内部组中的每一个空间相位检测器在空间相位序列中在具有与所述空间相位检测器不同并且彼此不同的各个空间相位的空间相位检测器之前和之后。