[发明专利]超导腔电抛光系统及电抛光方法有效
| 申请号： | 201810696448.X | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN108866617B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 靳松;贺斐思;张沛;高杰;戴劲;翟纪元;刘振超;宫殿君 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | C25F3/16 | 分类号： | C25F3/16;C25F7/00 |
| 代理公司： | 11438 北京律智知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 100049 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种超导腔电抛光系统，包括支撑部、电极管、电解液转储罐、新电解液存储罐、旧电解液存储罐及清洗液存储罐；支撑部旋转支撑超导腔，超导腔的两端均设有溢出口；电极管的一端设有电解液入口并固定于支撑部，伸入超导腔内且沿轴向设有至少一个出电解液口；电解液转储罐通过第一输出管道连通至电解液入口，通过第一输入管道连通至溢出口使电解液能够在电解液转储罐、电极管以及超导腔内循环；新电解液存储罐通过第二输出管道连通至电解液转储罐；旧电解液存储罐通过第三输出管道连通至电解液转储罐，并通过第二输入管道连通至电解液转储罐；清洗液存储罐通过出水管道连通至电解液入口和溢出口。使用该系统能减少电解液的用量。 | ||
| 搜索关键词： | 电解液 超导腔 储罐 连通 存储罐 电解液入口 输出管道 电极管 电抛光 溢出口 清洗液存储罐 输入管道 支撑 出水管道 旋转支撑 内循环 伸入 轴向 | ||
【主权项】：
1.一种超导腔电抛光系统，其特征在于，包括：/n支撑部，用于支撑超导腔，其上可旋转的安装所述超导腔，所述超导腔的两端均设置有溢出口；/n电极管，其一端部设置有电解液入口并固定于所述支撑部，所述电极管伸入所述超导腔内且沿其轴向设置有至少一个出电解液口；/n电解液转储罐，通过第一输出管道连通至所述电解液入口，通过第一输入管道连通至所述溢出口使电解液能够在电解液转储罐、电极管以及超导腔内循环进行电抛光；/n新电解液存储罐，其内储存有新电解液，通过第二输出管道连通至所述电解液转储罐；/n旧电解液存储罐，其内储存有旧电解液，通过第三输出管道连通至所述电解液转储罐，并通过第二输入管道连通至所述电解液转储罐；/n清洗液存储罐，其内存储有清洗液，通过出水管道连通至所述电解液入口和所述溢出口用于清洗所述电极管和所述超导腔。/n
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