[发明专利]辐射屏障

摘要

公开一种辐射屏障和组件以及包括该辐射屏障的反应器。该辐射屏障能够用于控制来自基座加热器组件的热通量并且由此使得能够更好地控制跨过衬底表面的温度，该衬底被放置在基座加热器组件的表面上。

主权项

1.一种用于反应器中的辐射屏障，所述辐射屏障包括：板，所述板包括第一区段和第二区段，其中所述第一区段包括环形盘，所述环形盘具有内周和外周，并且其中所述第二区段包括中空截头圆锥形状；和附接装置，所述附接装置用于将所述板附接到所述反应器的反应室内的基座加热器组件。