[发明专利]一种具有嵌入式薄膜温度传感器的切削刀具及制备方法有效
| 申请号： | 201810697091.7 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN108817880B | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 汤自荣;李天翔;廖广兰;史铁林 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B23P15/28 | 分类号： | B23P15/28 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 张彩锦;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于切削刀具领域，并具体公开了一种具有嵌入式薄膜温度传感器的切削刀具及制备方法，该刀具采用如下步骤制备：准备两块刀体，包括第一刀体和第二刀体，经研磨抛光、清洗后待用；在第一刀体上表面制备薄膜温度传感器；在第一刀体上表面已制备的图案上镀绝缘薄膜层，在第一刀体上表面中部未制备图案区域溅射金属薄膜层；将第二刀体放置在第一刀体的上表面，通过模具固定第一刀体与第二刀体的位置，然后进行高温高真空等静压烧结制备获得刀具；对刀具进行刀尖修饰，获得所需的切削刀具。本发明可实现温度场实时原位在线测量，具有温度测量可靠性高、响应速率快、空间分辨率高及温度传感器使用寿命长等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 刀体 制备 切削刀具 薄膜温度传感器 刀体上表面 刀具 嵌入式 溅射金属薄膜 刀尖 等静压烧结 绝缘薄膜层 空间分辨率 温度传感器 模具固定 实时原位 使用寿命 图案区域 温度测量 研磨抛光 在线测量 高真空 上表面 温度场 修饰 清洗 图案 响应 | ||
【主权项】：
1.一种具有嵌入式薄膜温度传感器的切削刀具的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1准备两块刀体，包括第一刀体和第二刀体，经研磨抛光、清洗后待用；S2在第一刀体上表面制备薄膜温度传感器，包括如下子步骤：S21制备温度传感器光刻掩膜版，包括温度传感器第一部分图案的掩膜版和温度传感器第二部分图案的掩膜版；S22在第一刀体上表面经匀胶、前烘、前曝光、后烘、泛曝光、显影、镀膜和金属剥离完成温度传感器第一部分的制备；S23重复步骤S22完成温度传感器第二部分的制备；S3在第一刀体上表面已制备的图案上镀绝缘薄膜层，在第一刀体上表面中部未制备图案区域溅射金属薄膜层；S4将第二刀体放置在第一刀体的上表面，通过模具固定第一刀体与第二刀体的相对位置，然后进行高温高真空等静压烧结制备获得刀具，其中真空度在5×10‑3Pa以下，升温速率为1℃/min～3℃/min，温度为1250℃～1350℃，压强为5MPa～15MPa，保温保压时间为4h～6h；S5对刀具进行刀尖修饰，获得所需的切削刀具。
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