[发明专利]镀膜系统及基板处理方法有效
| 申请号： | 201810698717.6 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN108893716B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 顾铁;程丙勋;钟良兆;何其军 | 申请（专利权）人： | 奕瑞影像科技（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 215434 江苏省苏州市太*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜系统及基板处理方法。镀膜系统包括镀膜腔室、基板承载装置、抽气装置及清洁装置；基板承载装置位于镀膜腔室内，用于承载基板；抽气装置与镀膜腔室相连通，以对镀膜腔室进行抽气操作；清洁装置用于在大气状态下于基板表面形成负压以对基板表面进行清洁，及/或在真空状态下向基板表面喷射清洁气体以对基板表面进行清洁。本发明利用负压吸附装置替代传统镀膜系统的吹拂式清洁装置，并且增加真空状态下的风枪清洁，能够使得清洁效果极大提升，从而帮助提高基板镀膜品质，提升生产良率，降低镀膜缺陷等；采用本发明的基板处理方法，能有效提高基板的清洁度，有利于生产良率提升，最终达到降低生产成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 系统 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜系统，其特征在于，包括：镀膜腔室；基板承载装置，所述基板承载装置位于所述镀膜腔室内，用于承载基板；抽气装置，所述抽气装置与所述镀膜腔室相连通，以对所述镀膜腔室进行抽气操作；及，清洁装置，用于在大气状态下于所述基板表面形成负压以对所述基板表面进行清洁，及/或在真空状态下向所述基板表面喷射清洁气体以对所述基板表面进行清洁。
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