[发明专利]一种分体式精密测量装置在审
| 申请号： | 201810698742.4 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110657746A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 李新振;廖飞红 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/00 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种分体式精密测量装置，包括被测物承载单元、检测单元及检测承载单元。检测承载单元用于承载检测单元，检测单元可在检测承载单元上沿X方向运动；被测物承载单元和检测承载单元可发生沿Y方向的相对运动；位移测量单元用于测量被测物承载单元和检测单元在X方向的相对位移，以及被测物承载单元和检测承载单元在Y方向的相对位移；被测物承载单元、检测承载单元和位移测量单元分别安装在第一安装框架、第二安装框架和第三安装框架上。本发明将被测物承载单元、检测承载单元和位移测量单元分别安装在分离的第一安装框架、第二安装框架和第三安装框架上，避免被测物承载单元或检测承载单元的运动对位移测量单元测量精度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 承载单元 检测 被测物 安装框架 位移测量单元 相对位移 测量 精密测量装置 分体式 承载 | ||
【主权项】：
1.一种分体式精密测量装置，其特征在于，包括：/n被测物承载单元，用于承载被测物；/n检测单元，用于检测被测物；/n检测承载单元，用于承载所述检测单元，所述检测单元可在检测承载单元上沿X方向运动；/n所述被测物承载单元和检测承载单元可发生沿Y方向的相对运动；所述X方向和Y方向水平正交；/n位移测量单元，包括第一位移测量单元和第二位移测量单元，所述第一位移测量单元用于测量所述被测物承载单元和所述检测单元在X方向的相对位移，所述第二位移测量单元用于测量所述被测物承载单元和检测承载单元在Y方向的相对位移；/n所述被测物承载单元、检测承载单元和位移测量单元分别安装在第一安装框架、第二安装框架和第三安装框架上，所述第一安装框架、第二安装框架和第三安装框架相互独立设置。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司，未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810698742.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
