[发明专利]采用微波垂直注入激励等离子体发生装置在审
| 申请号： | 201810700898.1 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN108566717A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 陈根;陈俞钱;徐世文;杨庆喜;宋云涛;赵燕平;陈永华;黄熙 | 申请（专利权）人： | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种采用微波垂直注入激励等离子体发生装置，包括线圈、等离子体放电腔体、连接法兰、微波窗、气体入口、真空泵组接口；所述线圈为中空结构设计；所述等离子体放电腔体两端为圆台型设计；所述等离子体放电腔体的侧壁上开设有一气体入口；气体入口通过连接法兰与微波窗进行连接；所述等离子体放电腔体的侧壁上还开设有两个真空泵组接口；所述等离子体放电腔体的侧壁上设有六组线圈。本发明利用设有的真空泵组接口抽真空，确保等离子体放电腔体的真空度满足工作条件；通过气体入口向等离子体放电腔体内通入工作气体，线圈通电产生磁场，通过调节通电电流大小改变磁场位型来约束微波馈入激励产生的等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体放电腔 气体入口 真空泵组 侧壁 等离子体发生装置 微波 连接法兰 微波窗 垂直 等离子体 磁场位型 工作气体 通电电流 线圈通电 中空结构 抽真空 圆台型 馈入 磁场 体内 | ||
【主权项】：
1.采用微波垂直注入激励等离子体发生装置，其特征在于，包括线圈(1)、等离子体放电腔体(2)、连接法兰(3)、微波窗(4)、气体入口(5)、真空泵组接口(6)；所述线圈(1)为中空结构设计；所述等离子体放电腔体(2)两端为圆台型设计；所述等离子体放电腔体(2)的侧壁上开设有一气体入口(5)；气体入口(5)通过连接法兰(3)与微波窗(4)进行连接；所述等离子体放电腔体(2)的侧壁上还开设有两个真空泵组接口(6)；所述等离子体放电腔体(2)的侧壁上设有六组线圈(1)。
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