[发明专利]集成化的小型NV色心固态磁强计及制作工艺

摘要

本发明属于固态原子磁强计领域和微纳加工制造领域，特别是公开了一种集成化的小型NV色心固态磁强计及其制作工艺，本发明对含有NV色心的块状金刚石进行聚合物封装，形成共振微腔体，同时，将ODMR测试的相关功能器件，包括激光二极管、微波天线和干涉截止滤波片，通过微组装工艺进行集成，该集成化系统将金刚石和微波天线都集成到共振腔体内，激光二极管置于金刚石顶端用于直接产生532nm波长的激光，激发金刚石内部的NV色心产生荧光，该系统能够更好的囚禁532激光，使其在腔体内部多次进行全反射，且将微波天线与金刚石同时包裹在腔体内，高效的收集激发荧光信号。运用这套集成化腔增强磁测量系统能进行高灵敏度磁测量。

主权项

1.集成化的小型NV色心固态磁强计，其特征在于，包括：PDMS腔体(3)，PDMS腔体(3)的上表面包覆有反射膜(2)，PDMS腔体(3)的下表面微组装有玻璃基片(6)，玻璃基片(6)的下表面设置有干涉截止滤波膜系(7)，PDMS腔体(3)、反射膜(2)以及干涉截止滤波膜系(7)共同构成陷光腔体；所述PDMS腔体(3)内包裹有微波天线(4)和带NV色心的金刚石(5)，微波天线(4)为环形，带NV色心的金刚石(5)位于微波天线(4)的中心，带NV色心的金刚石(5)顶部的PDMS腔体(3)上设置有激光器(1)，用于发出激发光源，所述干涉截止滤波膜系(7)的底部设置有光电二极管(8)，用于收集激发后的荧光信号。