[发明专利]一种准分子激光加工锥形微孔的方法及装置

摘要

本发明公开了一种准分子激光加工锥形微孔的方法及装置，该装置包括指示光(1)、准分子激光器(2)、掩模调换台(3)、掩模(4)、反射镜(5)、聚焦投影物镜(6)、样品放置台(7)、三维电控位移台(8)、电机驱动器(9)和计算机(10)。本发明通过在加工过程中改变掩模的大小来增大微孔的锥度，彻底改变目前精细锥形孔锥度小且难以控制等缺点，明显改善微孔锥度的目的；采用准分子激光器等气体激光器作为激光光源来加工锥形孔，由于气体光子能量较大，大于材料之间的化学键能，可以直接打断材料的化学键实现冷加工，获得较好的加工表面质量，同时具有加工精度高、可靠性高，材料对光的吸收率高以及无热影响区等优点。

主权项

1.一种准分子激光加工锥形微孔的装置，其特征在于：该装置包括指示光(1)、准分子激光器(2)、掩模调换台(3)、掩模(4)、反射镜(5)、聚焦投影物镜(6)、样品放置台(7)、三维电控位移台(8)、电机驱动器(9)和计算机(10)；计算机(10)中装有系统控制程序，样品放置台(7)放置在三维电控位移台(8)上后组成加工台，反射镜(5)沿45°方向斜向布置，反射镜(5)的中心与聚焦投影物镜(6)的中轴线重合，样品通过夹具固定在样品放置台(7)上，计算机(10)分别和准分子激光器(2)、电机驱动器(9)以及三维电控位移台(8)连接，通过计算机(10)控制三维电控位移台(8)进行实现样品的上下左右移动；指示光(1)、准分子激光器(2)、掩模调换台(3)、反射镜(5)、聚焦投影物镜(6)依次沿光路传输方向进行连接，掩模调换台(3)的入射光处有掩模(4)，掩模调换台(3)的出射光通过45°方向斜向布置的反射镜(5)反射变成与原光路呈90°角竖直向下的光路，再通过聚焦投影物镜(6)到三维电控位移台(8)及样品放置台(7)上的样品上。