[发明专利]一种改进的MPCVD设备基板台冷却结构

摘要

本发明涉及一种改进的MPCVD设备基板台冷却结构，包括基板台支撑台、设置有冷却液出口的冷却管，还包括设置于冷却液出口处的喷头，所述基板台支撑台底部非接触基板台的一侧面为中间凹、两侧高的底部弧面，所述喷头的一端连接冷却管，另一端喷口处设置有截面面积覆盖基板台支撑台底面面积的托水板。本发明使冷却液经过冷却管进入喷头并储存于喷头内，喷头的另一端喷口处设置有截面面积覆盖基板台支撑台底面面积的托水板，托水板呈弧形状与所述底部弧面形状匹配，托水板与底部弧面之间留有均匀的缝隙用于流出冷却液，冷却液均匀分布在基板台底部，实现基板台底部全覆盖，进而使基板台得以均匀冷却。

主权项

1.一种改进的MPCVD设备基板台冷却结构，包括基板台支撑台、设置有冷却液出口的冷却管，还包括设置于冷却液出口处的喷头，其特征在于，所述基板台支撑台底部非接触基板台的一侧面为中间凹、两侧高的底部弧面，所述喷头的一端连接冷却管，另一端喷口处设置有截面面积覆盖基板台支撑台底面面积的托水板。