[发明专利]一种基于偏振拉曼光谱对SiC晶体声子各向异性的测试方法

摘要

本发明涉及一种基于偏振拉曼光谱对SiC晶体声子各向异性的测试方法，包括步骤如下：(1)将SiC晶体分别加工，得到a面、c面和m面样品，并进行抛光；(2)在拉曼光谱仪的入射光路中加入半波片，在背散射光路中加入偏振片；(3)固定偏振片的方向，旋转半波片以改变入射偏振光与散射偏振光的相对方向，测试偏振拉曼光谱；(4)对不同声子模的峰进行拟合，获得平面模E1，E2以及轴向模A1的拉曼强度；(5)对平面模E1，E2以及轴向模A1的拉曼峰强度进行归一化处理律；(6)得到不同声子模的各向异性。本发明通过优化测试参数，有效的表征了SiC晶体不同极性面中声子的各向异性。

主权项

1.一种基于偏振拉曼光谱对SiC晶体声子各向异性的测试方法，其特征在于，包括步骤如下：(1)将SiC晶体分别加工，得到a面、c面和m面样品，并对a面、c面和m面样品进行抛光；(2)在拉曼光谱仪的入射光路中加入半波片作为起偏器，用于以控制入射偏振光的方向，在背散射光路中加入偏振片，以控制进入分析仪的散射偏振光的方向，激光通过半波片变为偏振光，经反射镜反射，照射在a面、c面和m面样品上发生背散射，通过偏振片过滤使特定方向的偏振光进入分析仪；(3)固定偏振片的方向，旋转半波片以改变入射偏振光与散射偏振光的相对方向，使入射偏振光与散射偏振光相对夹角为0°～360°，测试步骤(1)处理后的SiC晶体的a面、c面和m面样品的偏振拉曼光谱；(4)对步骤(3)测得的拉曼光谱中不同声子模的峰进行拟合，获得平面模E1，E2以及轴向模A1的拉曼强度；(5)对步骤(4)所述平面模E1，E2以及轴向模A1的拉曼峰强度进行归一化处理，以入射偏振光和散射偏振光的相对角度为横坐标，各声子模的归一化强度为纵坐标作图，并对其进行拟合，得到不同声子模的各向异性规律；(6)对步骤(1)所述的SiC晶体不同极性面中的平面模E1，E2以及轴向模A1的归一化强度变化进行拟合，得到不同声子模的各向异性。