[发明专利]氧化钨薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 201810707265.3 申请日: 2018-07-02
公开(公告)号: CN109100343A 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 赵倩;张洪文;刘广强;蔡伟平 申请(专利权)人: 中国科学院合肥物质科学研究院
主分类号: G01N21/65 分类号: G01N21/65
代理公司: 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 代理人: 任岗生
地址: 230031 安徽省合肥*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种氧化钨薄膜的制备方法。它先将钨酸铵粉末退火,得到三氧化钨粉末,再将三氧化钨粉末和水混合,得到三氧化钨水溶液,之后,先向三氧化钨水溶液中加入硼氢化钠后反应0.5‑5h,得到反应液,再对反应液依次进行固液分离、洗涤和干燥的处理,得到粉末状中间产物,最后,先将粉末状中间产物分散于乙醇中,得到分散液,再将分散液涂敷于衬底上,制得目的产物。它有着工艺简便、安全和所需设备价廉的特点,使制得的目的产物极易于广泛地商业化应用于对罗丹明6G和3,3’‑二乙基硫代三碳菁碘化物的快速痕量检测。
搜索关键词: 粉末状中间产物 三氧化钨粉末 氧化钨薄膜 三氧化钨 制备 退火 分散液涂敷 商业化应用 固液分离 痕量检测 罗丹明6G 硼氢化钠 碘化物 二乙基 分散液 水混合 钨酸铵 乙醇 衬底 硫代 洗涤 安全
【主权项】:
1.一种氧化钨薄膜的制备方法,包括液相还原法,其特征在于完成步骤如下:步骤1,先将钨酸铵粉末置于300‑500℃下退火1‑4h,得到三氧化钨粉末,再按照三氧化钨粉末和水的重量比为0.2‑50:1‑100的比例将两者混合,得到三氧化钨水溶液;步骤2,先向三氧化钨水溶液中加入硼氢化钠,使硼氢化钠在三氧化钨水溶液中的浓度保持为0.5‑5mol/L,反应0.5‑5h,得到反应液,再对反应液依次进行固液分离、洗涤和干燥的处理,得到粉末状中间产物;步骤3,先将粉末状中间产物分散于乙醇中,得到分散液,再将分散液涂敷于衬底上,制得膜厚为20‑100μm的氧化钨薄膜。
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