[发明专利]五自由度外差光栅干涉测量系统有效
| 申请号： | 201810708633.6 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN108627099B | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 张鸣;朱煜;杨富中;王磊杰;成荣;李鑫;叶伟楠;胡金春 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 李琳;张超艳 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种五自由度外差光栅干涉测量系统，包括：单频激光器，用于发出单频激光，所述单频激光可分束为一束参考光和一束测量光；干涉仪镜组和测量光栅，用于将所述参考光和测量光形成参考干涉信号和测量干涉信号；多束光纤束，分别接收所述测量干涉信号和参考干涉信号，每束光纤束中有多根多模光纤，分别接收同一平面上不同位置处的干涉信号。该测量系统具有对环境不敏感、体积小、质量轻、便于布置等优点，采用多个五自由度干涉测量系统布置，利用冗余信息即可实现六自由度的超精密测量，适用于光刻机工件台等六自由度位置和姿态测量的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 外差 光栅 干涉 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种五自由度外差光栅干涉测量系统，包括：单频激光器(1)，用于发出单频激光，所述单频激光分束为一束参考光和一束测量光；干涉仪镜组(3)和测量光栅(4)，用于将所述参考光和测量光形成参考干涉信号和测量干涉信号，其特征在于，还包括：多束光纤束(5)，分别接收所述测量干涉信号和参考干涉信号，每束光纤束(5)中有多根多模光纤，分别接收同一平面上不同位置处的干涉信号。
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