[发明专利]二自由度外差光栅干涉测量系统有效
| 申请号： | 201810709970.7 | 申请日： | 2018-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN108627100B | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;张鸣;王磊杰;杨富中;成荣;李鑫;叶伟楠;胡金春 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 李琳;张超艳 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种二自由度外差光栅干涉测量系统，包括：单频激光器，用于发出单频激光，所述单频激光可分束为一束参考光和一束测量光；干涉仪镜组和测量光栅，用于将所述参考光和测量光形成参考干涉信号和测量干涉信号；接收光纤，用于接收所述参考干涉信号和测量干涉信号，所述接收光纤的芯径小于所述参考干涉信号和测量干涉信号的干涉条纹宽度，使得所述接收光纤接收所述参考干涉信号和测量干涉信号的局部。所述测量系统对光栅转角误差不敏感、体积小、质量轻、便于布置等优点，特别适用于工业应用中对安装误差要求较高的场景。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 外差 光栅 干涉 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种二自由度外差光栅干涉测量系统，包括：单频激光器(1)，用于发出单频激光，所述单频激光分束为一束参考光和一束测量光；干涉仪镜组(3)和测量光栅(4)，用于将所述参考光和测量光形成参考干涉信号和测量干涉信号，其特征在于，还包括接收光纤，用于接收所述参考干涉信号和测量干涉信号，所述接收光纤的芯径小于所述参考干涉信号和测量干涉信号的干涉条纹宽度，使得所述接收光纤接收所述参考干涉信号和测量干涉信号的局部。
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