[发明专利]激光传输系统、激光切割装置和激光切割方法有效
| 申请号： | 201810713028.8 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110722270B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 宋春峰;徐文;孙杰;林圆圆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/06;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种激光传输系统、激光切割装置和激光切割方法。该激光传输系统包括激光发生模块、激光调制模块以及多个激光传输模块；激光发生模块、激光调制模块和激光传输模块沿激光传输方向依次设置；激光发生模块，用于产生初始光束；激光传输模块用于将切割光束传输至待切割工件上，不同激光传输模块用于传输的切割光束的参数不同；激光调制模块，用于根据待切割工件的工艺参数，将初始光束调制为切割光束，并根据待切割工件的工艺参数和/或切割光束的参数，选择对应的激光传输模块，以建立与切割光束相适应的传输通路。本发明提供的激光传输系统可以提高多层切割的切割效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 传输 系统 切割 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光传输系统，其特征在于，包括激光发生模块、激光调制模块以及多个激光传输模块；/n所述激光发生模块、所述激光调制模块和所述激光传输模块沿激光传输方向依次设置；/n所述激光发生模块，用于产生初始光束；/n所述激光传输模块用于将切割光束传输至待切割工件上，不同所述激光传输模块用于传输的所述切割光束的参数不同；/n所述激光调制模块，用于根据待切割工件的工艺参数，将所述初始光束调制为所述切割光束，并根据所述待切割工件的工艺参数和/或所述切割光束的参数，选择对应的所述激光传输模块，以建立与所述切割光束相适应的传输通路。/n
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