[发明专利]一种wafer装载系统及方法在审
| 申请号： | 201810713905.1 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110654868A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 刘云波 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技(北京)有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102200 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能薄膜加工技术领域，尤其涉及一种wafer装载系统及方法，进栏具输送装置用于将装有料盘的栏具由进栏具工位输送至料盘栏具分离工位上，第一搬运装置用于将空栏具由料盘栏具分离工位移至空栏具工位，第二搬运装置用于将栏具中装有wafer的料盘由料盘栏具分离工位移至料盘工位，再将空料盘由料盘工位移至空料盘工位，并将空料盘由空料盘工位移至空栏具工位上的空栏具中，第三搬运装置用于将料盘中的wafer由料盘工位移至装载花篮工位的花篮内，出栏具输送装置用于将装有空料盘的栏具由空栏具工位输送至出栏具工位并移出。提高了设备的可靠性和稳定性，实现从栏具进入到流出的全自动化，传输效率和精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 料盘 工位 空栏 空料盘 搬运装置 输送装置 花篮 加工技术领域 太阳能薄膜 传输效率 分离工位 全自动化 装载系统 移出 流出 装载 | ||
【主权项】：
1.一种wafer装载系统，其特征在于：包括栏具输送模块、料盘搬运模块和wafer搬运模块，所述栏具输送模块包括进栏具输送装置、出栏具输送装置和第一搬运装置，所述料盘搬运模块包括第二搬运装置，所述wafer搬运模块包括第三搬运装置，所述进栏具输送装置用于将装有料盘的栏具由进栏具工位输送至料盘栏具分离工位上，所述第一搬运装置用于将空栏具由所述料盘栏具分离工位移至空栏具工位，所述第二搬运装置用于将栏具中装有wafer的料盘由所述料盘栏具分离工位移至料盘工位，再将空料盘由所述料盘工位移至空料盘工位，并将空料盘由所述空料盘工位移至所述空栏具工位上的空栏具中，所述第三搬运装置用于将料盘中的wafer由所述料盘工位移至装载花篮工位的花篮内，所述出栏具输送装置用于将装有空料盘的栏具由所述空栏具工位输送至出栏具工位并移出。/n
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