[发明专利]激光修复装置及修复方法有效
| 申请号： | 201810714239.3 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110653494B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 林圆圆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/03;B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光修复装置及修复方法，所述激光修复装置包括：激光发生装置，控制装置以及检测装置；所述控制装置中包括材料、所述激光参数与激光烧蚀形貌之间的关系的仿真模型库。所述检测装置检测待修复缺陷的材料和形貌并反馈给所述控制装置，所述控制装置根据所述缺陷的材料和形貌从所述仿真模型库中提取出修复所述缺陷所需的激光参数并根据所述激光参数控制所述激光发生装置输出激光对所述缺陷进行烧蚀。所述激光修复方法根据缺陷的形貌和缺陷的性质，从仿真模型库中自动查找出修复所述缺陷所需的激光参数。通过反馈控制激光输出进行缺陷的修复，达到自动修复不同缺陷的效果，提高修复的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 修复 装置 方法 | ||
【主权项】：
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