[发明专利]一种工件台系统及光刻设备有效
| 申请号： | 201810714722.1 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110658688B | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 李新振;廖飞红 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工件台系统及光刻设备，该工件台系统包括基础框架、底座、运动组件、平衡质量组件、重力补偿装置及传动装置；底座固定在基础框架上；运动组件用于为载物台运动提供驱动力；平衡质量组件可动式设置于基础框架上；运动组件的定子部分固定在平衡质量组件上，动子部分带动载物台相对定子部分运动，其反向作用力驱动平衡质量组件反方向运动；重力补偿装置位于基础框架和底座之间，用于对底座上的负载进行垂向的重力补偿；平衡质量组件通过传动装置驱动重力补偿装置发生与载物台同步同向运动。本发明在不增加底座厚度的前提下，利用平衡质量驱动重力补偿装置对底座上的负载进行实时重力补偿，减小甚至消除负载运动导致的底座变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 系统 光刻 设备 | ||
【主权项】：
1.一种工件台系统，其特征在于，包括：/n基础框架；/n底座，固定在所述基础框架上，用于为载物台运动提供支撑；/n运动组件，用于为所述载物台运动提供驱动力；/n平衡质量组件，可动式设置于所述基础框架上；所述运动组件包括动子部分和定子部分，所述定子部分固定在所述平衡质量组件上，所述动子部分用于连接所述载物台，所述动子部分带动载物台相对于所述定子部分运动，运动时产生的反向作用力驱动所述平衡质量组件发生与所述动子部分的运动方向相反的运动；/n重力补偿装置，位于所述基础框架和底座之间，用于对所述底座上的负载进行垂向的重力补偿；/n传动装置，用于连接所述平衡质量组件和重力补偿装置，所述平衡质量组件通过所述传动装置驱动所述重力补偿装置发生与所述载物台同步同向运动。/n
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