[发明专利]环境噪音监测的MEMS频率分区矩阵麦克风传感器在审
| 申请号： | 201810716735.2 | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN108769882A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 戴学军 | 申请（专利权）人： | 惠州学院 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;G01H11/06 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 黄良宝;董蕾 |
| 地址： | 516000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种环境噪音监测的MEMS频率分区矩阵麦克风传感器，包括端基板以及一端与端基板连接的柔性基板，柔性基板的两侧分别设有用于接触液体中的声音行波的传感器包膜，柔性基板两侧分别与对应传感器包膜之间设有两个以上用于将声音行波的振动转换为电荷给柔性基板的共振单元。与现有技术相比，该传感器结构，利用共振单元将声音行波振动转换为电荷给柔性基板，通过不同特征值的共振腔对声音中各个频率进行分区加强，从而在有编号的分区中把不同的声音频率进行分离，让声音进行细节化频谱处理，获取声音频率不同特征值；另外柔性基板能够获取声音的各种声谱特征值，输出的带编号的声音信号，更加有利于后续神经网络算法处理的信号需求。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性基板 矩阵 麦克风传感器 传感器包 共振单元 环境噪音 频率分区 声音频率 电荷 端基板 行波 分区 神经网络算法 传感器结构 接触液体 频谱处理 行波振动 共振腔 细节化 监测 转换 声谱 输出 | ||
【主权项】：
1.一种环境噪音监测的MEMS频率分区矩阵麦克风传感器，其特征在于，包括端基板以及一端与端基板连接的柔性基板，柔性基板的两侧分别设有用于接触液体中的声音行波的传感器包膜，柔性基板两侧分别与对应传感器包膜之间设有两个以上用于将声音行波的振动转换为电荷给柔性基板的共振单元。
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