[发明专利]一种用于玻璃和硅片的测量治具在审
| 申请号： | 201810725682.0 | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN108592976A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 葛根焰 | 申请（专利权）人： | 常州天寅智造科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/30 | 分类号： | G01D11/30 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 余剑琴 |
| 地址： | 213001 江苏省常州市新北区河*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及治具技术领域，尤其是涉及一种用于玻璃和硅片的测量治具，包括基板和支柱；所述基板的上表面上设置有人字形凸起，所述人字形凸起上设置有若干个插槽，所述支柱插装在所述插槽内，且所述支柱的自由端为圆弧形，所述支柱的直径和高度分别随玻璃或硅片的面积逐渐增大。本方案可以通过使用不同大小的支柱，放置大小不同的玻璃或硅片，满足其测量要求，方便工人操作。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 治具 玻璃 插槽 基板 凸起 测量 测量要求 逐渐增大 人字形 上表面 圆弧形 自由端 插装 | ||
【主权项】：
1.一种用于玻璃和硅片的测量治具，其特征在于，包括基板和支柱；所述基板的上表面上设置有人字形凸起，所述人字形凸起上设置有若干个插槽，所述支柱插装在所述插槽内，且所述支柱的自由端为圆弧形，所述支柱的直径和高度分别随玻璃或硅片的面积逐渐增大。
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