[发明专利]一种可调谐的薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 201810725684.X | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN108964629A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 邹杨;周杰;蔡耀;唐楚滢;胡博豪;高超;孙成亮 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 彭艳君 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于微电子技术，具体涉及一种可调谐的薄膜体声波谐振器，包括衬底、空腔、底电极层、调谐层和压电震荡堆；压电震荡堆包括中间电极层、压电层和上电极层；直流偏压施加于中间电极层和底电极层上。该薄膜体声波谐振器直流偏压加在所述底电极和中间电极上，调谐层具有压电特性，且和底电极层均采用环状。这样在较小的直流偏压下，FBAR可以产生较大的偏置位移，从而产生较大的特征频率的改变。因此，可以在低压下实现FBAR谐振频率的较大调节，能极大的扩展FBAR的应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜体声波谐振器 底电极层 直流偏压 中间电极层 调谐层 可调谐 压电 震荡 微电子技术 特征频率 谐振频率 压电特性 中间电极 底电极 电极层 压电层 衬底 空腔 偏置 施加 应用 | ||
【主权项】：
1.一种可调谐的薄膜体声波谐振器，其特征是，包括衬底、空腔、底电极层、调谐层和压电震荡堆；压电震荡堆包括中间电极层、压电层和上电极层；直流偏压施加于中间电极层和底电极层上。
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