[发明专利]基于双光梳扫描测距的三维形貌测量系统及方法有效
| 申请号： | 201810726961.9 | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN108917643B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 赵显宇;张福民;曲兴华;汤国庆;赵宇航;李雯靓;周伦彬 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 喻颖 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种基于双光梳扫描测距的三维形貌测量系统及方法，所述系统包括：双光梳扫描测距光路模块，用于测量被测物z方向上的一维距离信息；旋转平移模块，用于夹持并移动被测物，同时提供被测物x方向和y方向上的二维距离信息；数据采集与三维信息处理模块，其连接所述双光梳扫描测距光路模块和旋转平移模块，用于采集并整合所述双光梳扫描测距光路模块测量到的一维测距信息和所述旋转平移模块提供的二维距离信息，得到被测物的三维形貌信息。本发明的基于双光梳扫描测距的三维形貌测量系统及方法测量的景深大，测量的速度快，一维距离信息的获取测采用绝对测距方式，不担心断光，可测量阶梯面，可用于多种工业测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 双光梳 扫描 测距 三维 形貌 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于双光梳扫描测距的三维形貌测量系统，其特征在于，包括：双光梳扫描测距光路模块，用于测量被测物在其出射激光方向上的一维距离信息，所述双光梳扫描测距光路模块的出射激光方向为z方向；旋转平移模块，用于夹持并移动被测物，同时提供被测物x方向和y方向上的二维距离信息；数据采集与三维信息处理模块，其连接所述双光梳扫描测距光路模块和所述旋转平移模块，用于采集并整合所述双光梳扫描测距光路模块测量到的一维测距信息和所述旋转平移模块提供的二维距离信息，得到被测物的三维形貌信息。
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