[发明专利]一种产生位置和强度独立可控多个聚焦光斑的方法

摘要

本发明提出一种产生位置和强度独立可控多个聚焦光斑的方法，包括以下步骤：步骤S1，将光束横截面等分成M个扇形区域，M＝(1+2+3+…+n)P＝n(n+1)P/2，n为焦点的数量。步骤S2，将第1到第n个焦点的位置坐标定为(Δx1,Δy1),(Δx2,Δy2),(Δx3,Δy3)………(Δxn,Δyn)。步骤S3，将第一个扇形区域附加与(Δx1,Δy1)相关的相位调制，将第二个到第三个扇形区域附加与(Δx2,Δy2)相关的位相调制……依次类推，将第[n(n‑1)]/2+1个到第n(n+1)/2个扇形区域附加与(Δxn,Δyn)相关的相位调制。步骤S4，对于其余(P‑1)个包含n(n+1)/2个扇形区域组合分别依次进行与步骤S3所述同样的相位调制。步骤S5，由高数值孔径物镜聚焦相位调制后的激光束得到强度分别为I，2I，3I，……nI的n个焦点。本发明可以获得位置、强度可控的多个聚焦光斑。

主权项

1.一种产生位置和强度独立可控多个聚焦光斑的方法，其特征在于包括以下步骤：步骤S1，将光束横截面等分成M个扇形区域，M＝(1+2+3+…+n)P＝n(n+1)P/2，n为大于1的正整数；P为10以上的偶数，即将n(n+1)/2个扇形区域乘以P倍；n为焦点的数量；步骤S2，将第1到第n个焦点的位置坐标定为(Δx1,Δy1),(Δx2,Δy2),(Δx3,Δy3)………(Δxn,Δyn)；坐标(Δxi,Δyi)i＝1,2,3....n，是指聚焦物镜的焦平面内的坐标值；步骤S3，将第一个扇形区域附加与(Δx1,Δy1)相关的相位调制，坐标(x0,y0)是指光束聚焦前在物镜后孔径位置的坐标值；将第二个到第三个扇形区域附加与(Δx2,Δy2)相关的位相调制，将第四个到第六个扇形区域附加与(Δx3,Δy3)相关的相位调制，依次类推，将第[n(n‑1)]/2+1个到第n(n+1)/2个扇形区域附加与(Δxn,Δyn)相关的相位调制，其中λ为激光波长，NA为聚焦物镜的数值孔径，R为物镜入射光曈的半径，n₀为折射率；步骤S4，对于其余(P‑1)个包含n(n+1)/2个扇形区域组合分别依次进行与步骤S3所述同样的相位调制；步骤S5，由高数值孔径物镜聚焦相位调制后的激光束得到强度分别为I，2I，3I，……nI的n个焦点。