[发明专利]微机械传感器在审
| 申请号： | 201810728951.9 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN109205546A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | A·丹嫩贝格;M·施瓦茨;S·齐默尔曼;S·T·耶格 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01L9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微机械传感器(100)，具有：‑传感器框(10)；‑借助于至少一个弹簧元件(20)附接到所述传感器框(10)上的压力传感器芯(30)，该压力传感器芯具有压力传感器膜片(31)；和‑至少一个布置在所述弹簧元件(20)中的检测装置(21a...21d)，借助于所述检测装置能够检测所述压力传感器芯(30)的至少一个限定的几何加速度偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器芯 微机械传感器 传感器框 弹簧元件 检测装置 压力传感器膜片 偏移 检测 | ||
【主权项】：
1.微机械传感器(100)，具有：‑传感器框(10)；‑借助于至少一个弹簧元件(20)附接到所述传感器框(10)上的压力传感器芯(30)，该压力传感器芯具有压力传感器膜片(31)；和‑至少一个布置在所述弹簧元件(20)中的检测装置(21a...21d)，借助于所述检测装置能够检测所述压力传感器芯(30)的至少一个限定的几何加速度偏移。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810728951.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：微机械传感器以及用于制造微机械传感器的方法
- 下一篇：微机电感测器
