[发明专利]一维线阵压电元件的制备方法、二维面阵超声换能器

摘要

本发明公开了一种一维线阵压电元件的制备方法、二维面阵超声换能器。由于经过切割第一压电片和第二压电片，制备的压电元件的每个压电阵元都在横向振动模式共振频率工作，并且为双层并联结构，使得电阻抗大大降低，使得压电阵元的阻抗不匹配的问题减弱，有效降低阻抗不匹配产生的不利影响，提高换能器能量转换效率，甚至可以不进行阻抗匹配，从而简化换能器制作过程，降低制作成本。此外，通过对第一压电片和第二压电片进行切割，及利用非导电材料及去耦合材料填充，使得制备得到的一维线阵压电元件的每个压电阵元的相反的两个侧面分别为正电极及负电极，能够进一步的解决电极引出的问题，构造过程相对简单，实用性高且成本低。

主权项

1.一种一维线阵压电元件的制备方法，其特征在于，所述方法包括：/n将第一压电片和第二压电片分别粘接在粘接层相反的两个表面，所述第一压电片和第二压电片的粘接面及与所述粘接面长边所对应的两个侧面均已敷设电极；/n按照第一切割方向及第一切割深度，在所述第一压电片的大面进行切割，得到第一切缝；其中，所述第一切割方向平行于所述大面的长边，所述第一切割深度大于所述第一压电片的厚度，且小于所述第一电压片的厚度和第二压电片的厚度的和；/n利用非导电材料填充所述所述第一切缝；/n按照第二切割方向、第二切割深度及切割间隔，在所述第一压电片的大面进行切割，得到若干间距相等的第二切缝；其中，所述第二切割方向平行于所述大面的短边，所述第二切割深度至少为预设的所述一维线阵压电元件的目标厚度，且小于所述第一压电片的厚度和所述第二压电片的厚度的和；/n将去耦合材料灌入所述第二切缝中，待所述去耦合材料凝固后，研磨所述第一压电片和所述第二压电片的大面，直至所述第一压电片的厚度与第二压电片的厚度相同，且厚度的和等于所述目标厚度；/n在所述第一压电片和第二压电片的大面上敷设电极，并在所述第一压电片的大面上切割所述去耦合材料，以形成第一电极隔断槽，且在所述第一压电片的大面上，以平行于所述第一切缝的方向进行切割，得到第二电极隔断槽，且所述第二电极隔断槽位于所述第一压电片的大面的边缘，在所述第二压电片的大面上，切割与所述第二电极隔断槽对称的第三电极隔断槽，以得到包含多个由去耦合材料隔开的压电阵元的所述一维线阵压电元件；且每个所述压电阵元的相反的两个侧面分别为正电极及负电极。/n