[发明专利]一种芯片主动遍历匹配方法

摘要

本发明实施例公开了一种芯片主动遍历匹配方法，包括以下步骤：选择视块中一颗外观良好的芯片作为初始模板，依据所述初始模板进行匹配选择出目标物体的位置坐标并进行光电测试；根据所述位置坐标判断视块中芯片的边缘跨行和/跨列情况以及倾斜情况；调节所述视块的位置达到框选最多完整行、列的芯片；以规划的晶圆芯片的扫描路径继续上述过程；将完成扫描的芯片位置坐标重建成九宫格规整逻辑视图，并生成映射图；依据所述映射图进行芯片等级分选。采用本发明，有效地减小了扫描冗余度，提高了扫描效率，采用九宫格进行索引配置，使用相对位置关系，实现相同晶圆片逻辑视图的同一化，主动根据mapping图进行分选端的路径规划，提升查找效率和匹配率。

主权项

1.一种芯片主动遍历匹配方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：在检测机端，选择视块中一颗外观良好的芯片作为初始模板，依据所述初始模板进行匹配选择出目标芯片的位置坐标；S2：根据所述位置坐标九宫格定位法重建芯片逻辑视图，使逻辑视图同一化；S3：根据所述位置坐标判断视块中芯片的边缘跨行、跨列、芯片倾斜的位姿情况；S4：根据所述位姿情况调节步长，使以尽量少的视块完整地框选芯片；的位置达到框选最多完整行、列的芯片；S5：按照规划的扫描路径继续上述过程，直至晶圆片扫描完成；S6：将上述所述逻辑视图进行拼接生成整体的位置映射图，按照所述位置映射图逐粒定位检测，直至完成所有芯片的检测，根据检测结果生成包含光电特征、逻辑位置、物理位置的映射图；S7：在检测完成后，将晶圆片移至分选机，根据所述映射图的逻辑位置、物理位置分布进行视块扫描规划，重新进行视觉采集和匹配查找；S8：根据所述扫描规划进行视块步长规划，以尽量少的视块对有效芯片进行查找；S9：重复S7、S8直至所有有效芯片查找完成。