[发明专利]一种激光剥离方法在审
| 申请号： | 201810729808.1 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN108943988A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 刘阳;张杰;陶沙 | 申请（专利权）人： | 英诺激光科技股份有限公司;常州英诺激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B43/00 | 分类号： | B32B43/00 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 任哲夫 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光剥离方法，设计激光应用技术领域，该方法包括：提供一待剥离且相互贴合的第一材料层和第二材料层，第一材料层为透光层，第二材料层为吸光层；提供激光脉冲串并辐照第一材料层，使得第一材料层与第二材料层相分离。相比于现有技术中采用均匀的单脉冲激光进行材料剥离，本方案采用激光脉冲串不仅可维持所需要的脉冲能量，同时还可极大得提高剥离精度和效率，并将对材料界面的损伤降至最低。 | ||
| 搜索关键词： | 第一材料 第二材料层 激光剥离 激光脉冲 剥离 激光应用技术 单脉冲激光 辐照 脉冲能量 透光层 吸光层 相分离 贴合 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种激光剥离方法，其特征在于，该方法包括：提供一待剥离且相互贴合的第一材料层和第二材料层，第一材料层为透光层，第二材料层为吸光层；提供激光脉冲串并辐照第一材料层，使得第一材料层与第二材料层相分离。
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