[发明专利]一种均匀面形沉积蒸镀装置和方法

摘要

一种新型均匀面形沉积蒸镀装置和方法，采用圆形盖板和矩形特定多个连通流道夹层盒以混合流道的方式，达到提升薄膜厚度均匀度之功效。设备设计简单，成本较低，由于铜、铟、镓元素蒸汽流经盖板及矩形特定多个连通流道夹层盒再单独与硒元素蒸汽流以线形方式蒸镀，能使材料黏滞性影响现象降低，藉此保持于蒸镀制程薄膜成品之均匀度。本发明的均匀面形沉积蒸镀装置应用于蒸镀CIGS电池的吸收层镀膜，由于制程速度快及薄膜成品之均匀度提高，将有利于转换效率的提高，并满足了规模化生产的需求。

主权项

1.一种新型均匀面形沉积蒸镀装置，包括本体、矩形特定多个连通流道夹层盒、不止一个盖板、不止一个坩埚、不止一个加热器、热屏蔽装置、基板和试片；热屏蔽装置设置于本体内，热屏蔽装置内部形成一独立蒸汽流道；基板设置于本体的底部，基板之间形成的流道连通独立蒸汽流道；坩埚分为内坩埚与外坩埚，内坩埚设置于本体内且被热屏蔽装置包裹，外坩埚设置于本体外部，内坩埚顶部连接设有限流孔的盖板；盖板上部连接矩形特定多个连通流道夹层盒，矩形特定多个连通流道夹层盒的两端连通独立蒸汽流道；加热器分布在矩形特定多个流道夹层盒以及外坩埚的四周；试片设置于本体的顶部且位于矩形特定多个连通流道夹层盒的上方。