[发明专利]一种太阳能电池晶体硅的清洗装置在审

专利信息
申请号: 201810730079.1 申请日: 2018-07-05
公开(公告)号: CN108962790A 公开(公告)日: 2018-12-07
发明(设计)人: 刘宏;王春定;龚志国;姚学森;刘柏林 申请(专利权)人: 天长市百盛半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/02;B08B13/00
代理公司: 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 代理人: 傅磊
地址: 239300 安徽省滁州市天长*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种太阳能电池晶体硅的清洗装置,安装轴之间安装有废料收集箱,废料收集箱的下端设有鼓风机,废料收集箱上设有进料口,废料收集箱内设有出风通道,出风通道上设有出风阀,安装轴的一侧安装有电机,安装轴上安装有第二活塞,第二活塞上安装有第二活塞轴,第二活塞轴上安装有第三活塞,第三活塞上安装有第三活塞轴,第三活塞轴上安装有防滑板,安装轴上端安装有蓄水箱,安装轴的一侧安装有第一活塞,第一活塞上安装有第一活塞轴,第一活塞轴上安装有增压泵,增压泵上安装有喷嘴安装轴,喷嘴安装轴上安装有喷头,喷头上设有多个喷嘴,喷嘴通过连通管与增压泵连通,增压泵通过传输管与蓄水箱连通。本发明能够有效提高单晶硅片的清洗效率和质量。
搜索关键词: 活塞 活塞轴 安装轴 增压泵 废料收集箱 太阳能电池 出风通道 喷嘴安装 清洗装置 喷嘴 晶体硅 蓄水箱 连通 鼓风机 喷头 单晶硅片 废料收集 清洗效率 出风阀 传输管 防滑板 进料口 连通管 上端 下端 电机
【主权项】:
1.一种太阳能电池晶体硅的清洗装置,包括安装轴,其特征在于,所述安装轴之间安装有废料收集箱,所述废料收集箱的下端设有鼓风机,所述废料收集箱上端设有进料口,所述废料收集箱内设有出风通道,所述出风通道上设有出风阀,所述安装轴的一侧安装有电机,所述安装轴远离电机的一侧安装有第二活塞,所述第二活塞远离安装轴的一侧安装有第二活塞轴,所述第二活塞轴远离第二活塞的一侧安装有第三活塞,所述第三活塞远离第二活塞轴的一侧安装有第三活塞轴,所述第三活塞轴远离第三活塞的一侧通过防滑板安装座安装有防滑板,所述安装轴上端安装有蓄水箱,所述安装轴的一侧安装有第一活塞,所述第一活塞远离安装轴的一侧安装有第一活塞轴,所述第一活塞轴远离第一活塞的一端安装有增压泵,所述增压泵远离第一活塞轴的一侧通过出料管安装座安装有喷嘴安装轴,所述喷嘴安装轴上安装有喷头,所述喷头上设有多个喷嘴,所述喷嘴通过连通管与增压泵连通,所述增压泵通过传输管与蓄水箱连通。
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