[发明专利]一种太阳能电池晶体硅的清洗装置在审
申请号: | 201810730079.1 | 申请日: | 2018-07-05 |
公开(公告)号: | CN108962790A | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
发明(设计)人: | 刘宏;王春定;龚志国;姚学森;刘柏林 | 申请(专利权)人: | 天长市百盛半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B3/02;B08B13/00 |
代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 傅磊 |
地址: | 239300 安徽省滁州市天长*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种太阳能电池晶体硅的清洗装置,安装轴之间安装有废料收集箱,废料收集箱的下端设有鼓风机,废料收集箱上设有进料口,废料收集箱内设有出风通道,出风通道上设有出风阀,安装轴的一侧安装有电机,安装轴上安装有第二活塞,第二活塞上安装有第二活塞轴,第二活塞轴上安装有第三活塞,第三活塞上安装有第三活塞轴,第三活塞轴上安装有防滑板,安装轴上端安装有蓄水箱,安装轴的一侧安装有第一活塞,第一活塞上安装有第一活塞轴,第一活塞轴上安装有增压泵,增压泵上安装有喷嘴安装轴,喷嘴安装轴上安装有喷头,喷头上设有多个喷嘴,喷嘴通过连通管与增压泵连通,增压泵通过传输管与蓄水箱连通。本发明能够有效提高单晶硅片的清洗效率和质量。 | ||
搜索关键词: | 活塞 活塞轴 安装轴 增压泵 废料收集箱 太阳能电池 出风通道 喷嘴安装 清洗装置 喷嘴 晶体硅 蓄水箱 连通 鼓风机 喷头 单晶硅片 废料收集 清洗效率 出风阀 传输管 防滑板 进料口 连通管 上端 下端 电机 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能电池晶体硅的清洗装置,包括安装轴,其特征在于,所述安装轴之间安装有废料收集箱,所述废料收集箱的下端设有鼓风机,所述废料收集箱上端设有进料口,所述废料收集箱内设有出风通道,所述出风通道上设有出风阀,所述安装轴的一侧安装有电机,所述安装轴远离电机的一侧安装有第二活塞,所述第二活塞远离安装轴的一侧安装有第二活塞轴,所述第二活塞轴远离第二活塞的一侧安装有第三活塞,所述第三活塞远离第二活塞轴的一侧安装有第三活塞轴,所述第三活塞轴远离第三活塞的一侧通过防滑板安装座安装有防滑板,所述安装轴上端安装有蓄水箱,所述安装轴的一侧安装有第一活塞,所述第一活塞远离安装轴的一侧安装有第一活塞轴,所述第一活塞轴远离第一活塞的一端安装有增压泵,所述增压泵远离第一活塞轴的一侧通过出料管安装座安装有喷嘴安装轴,所述喷嘴安装轴上安装有喷头,所述喷头上设有多个喷嘴,所述喷嘴通过连通管与增压泵连通,所述增压泵通过传输管与蓄水箱连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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