[发明专利]用于激光斑点尺寸连续可调高倍聚焦光路系统及调节方法在审
| 申请号： | 201810730497.0 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN108828782A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 贾云海;刘佳;徐鹏;史孝侠;申睿;李晓鹏 | 申请（专利权）人： | 钢研纳克检测技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/48 |
| 代理公司： | 北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙) 11248 | 代理人： | 李彬;张小娟 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于激光聚焦剥蚀、激发、电离光路系统领域，涉及一种用于激光斑点尺寸连续可调高倍聚焦光路系统，适用于激光光谱仪、激光质谱仪、激光电感耦合等离子体光谱或质谱仪。所述光路系统按光束的传播轨迹顺序包括扩束透镜组、机械光阑、调谐透镜组、高倍聚焦透镜组和窗片；其光学总长度为350～700mm，后截距20～200mm，镜片外径20～25.4mm，聚焦倍数大于25。本发明扩束透镜组对激光进行两倍扩束，利于后续实现高倍聚焦，通过改变调谐透镜组的透镜间距离，固定机械光阑尺寸，可以改变激光的发散角，获得不同激光斑点尺寸；改变机械光阑孔径，固定调谐透镜组的透镜间距离，经详细的理论计算和实际误差修复，获得不同激光斑点尺寸，聚焦光斑可调范围为5μm～600μm。 | ||
| 搜索关键词： | 激光斑点 调谐 透镜组 激光 聚焦光路系统 扩束透镜组 透镜间距离 光路系统 连续可调 质谱仪 光阑 电感耦合等离子体光谱 聚焦 激光光谱仪 聚焦透镜组 固定机械 光阑孔径 轨迹顺序 激光聚焦 聚焦光斑 理论计算 实际误差 剥蚀 电离 发散角 后截距 镜片 窗片 可调 扩束 修复 激发 传播 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光斑点尺寸连续可调高倍聚焦光路系统，设置在入射端面(1)与聚焦端面(11)之间，其特征在于：所述光路系统按光束的传播轨迹顺序包括扩束透镜组、机械光阑(4)、调谐透镜组、高倍聚焦透镜组和窗片(10)；其中：所述扩束透镜组有间距可调的两个或更多透镜，能够对激光束直径进行扩大或缩小；所述调谐透镜组有间距可调的两个或更多透镜，可改变激光的发散角；机械光阑(4)的孔径为可调节的；所述高倍聚焦透镜组安装在能够沿光轴移动的可调平台上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于钢研纳克检测技术股份有限公司，未经钢研纳克检测技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810730497.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
