[发明专利]一种CVD金刚石涂层基体表面预处理方法

摘要

本发明公开了一种CVD金刚石涂层基体表面预处理方法，解决了现有技术中涂层作业时，基体的深层钴原子迁移至基体表层，坏金刚石膜底层结构，降低膜基结合力的问题。本发明的预处理方法包括以下步骤：将硬质合金拉丝模超声波清洗后，烘干，再整齐摆放入石墨坩埚中，将坩埚放置入真空炭化炉，抽至极限真空；通入氢气，加热至设定温度，控制反应压力，反应，反应结束后，关闭氢气，抽真空至极限真空；降低反应室温度，向反应室内通入氧气，控制反应压力，反应结束后关闭电源和气源，将反应室抽至极限真空度后，关闭反应室阀门，待模具自然自然冷却至常温后，取出模具进行检测；检测合格的拉丝模超声植晶，清洗、烘干。本发明设计科学，方法简单。

主权项

1.一种CVD金刚石涂层基体表面预处理方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1.将硬质合金拉丝模用超声波清洗后，烘干，再整齐摆放入石墨坩埚中，将所述坩埚放置入真空炭化炉，抽至极限真空后，并保持一段时间；步骤2.向反应室通入氢气，加热至设定的反应温度，控制反应压力，反应一段时间，反应结束后，关闭氢气，抽真空至极限真空，并保持一段时间；步骤3.降低反应室温度，向反应室内通入氧气，控制反应压力，反应一段时间，反应结束后，关闭电源和气源，将反应室抽至极限真空度后，关闭反应室阀门，待模具自然自然冷却至常温后，取出模具进行检测；步骤4.将经步骤3检测合格的拉丝模放入超声波机中进行超声植晶，处理结束后捞出清洗、烘干。